真空泵的技術(shù)術(shù)語(yǔ)和用途

一、真空泵的技術(shù)術(shù)語(yǔ)，真空泵除主要特性，極限壓力，流量和抽氣速率之外，尚有一些名詞術(shù)語(yǔ)表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)：

(1)氣動(dòng)壓力。泵無(wú)損害啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力。

（2）前級(jí)壓力。排氣壓力低于101325pa的真空泵的出口壓力。

（3）前級(jí)壓力。超過(guò)它能是泵損壞的前級(jí)壓力。

（4）工作壓力。對(duì)應(yīng)流量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損害。

（5）壓縮比。泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

（6）合適系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽氣速率與該處按分子泄流計(jì)算的理論抽氣速率之比。

（7）抽氣系數(shù)。泵的實(shí)際抽氣速率與泵入口面積按分子泄流計(jì)算的理論抽氣速率之比。

（8）反流率（單位：g.cm-2.s-1)。泵在規(guī)定條件下工作時(shí)，與抽氣方向相反而通過(guò)泵入口的單位面積、單位時(shí)間的泵液的質(zhì)量流率。

（9）水蒸氣允許量（單位：kg/h）。在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣的質(zhì)量流率。

（10）允許水蒸氣入口壓力。在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣的入口壓力。

二、真空泵用途

根據(jù)真空泵性能，在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中它可承擔(dān)如下一些工作。

（1）主泵。在真空系統(tǒng)中，用在獲得所要求的真空度的真空泵。

（2）粗抽泵。從大氣壓開(kāi)始，降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開(kāi)始工作的真空泵。

（3）前級(jí)泵。用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其許可的前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。

（4）維持泵。在真空系統(tǒng)中，當(dāng)抽氣量很小時(shí)，不能有效地利用主要前級(jí)泵，為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

（5）粗（低）真空泵。從大氣壓開(kāi)始，降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。

（6）高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。

（7）超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。

（8）增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間，用來(lái)提高抽氣系統(tǒng)，在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級(jí)泵容量要求的真空泵（如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等）。

　上海帕特泵業(yè)制造有限公司

2012年4月23日星期一

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