常規(guī)真空工藝對環(huán)境的要求

2012-04-26

所謂常規(guī)真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程。這類真空裝置(設(shè)備)對真空衛(wèi)生的要求是:

①凡是處于真空狀態(tài)或真空中的真空設(shè)備的零件或表面，都要求無積存的污染源。表面無塵埃、無鐵屑、無銹蝕。

②真空設(shè)備的真空室表面要光滑，無松軟組織和氣孔，無死空間，內(nèi)焊縫無影響真空的缺陷。

③高真空設(shè)備中，真空室內(nèi)的運動部件不得用機油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

④無油超高真空系統(tǒng)(也稱“清潔的超高真空系統(tǒng)”)應(yīng)避免油蒸氣影響工作介質(zhì)的純度、表面特性或工作性能，為某種工藝過程提供清潔的超高真空環(huán)境。

超高真空金屬系統(tǒng)常用1 Cr18Ni9Ti為結(jié)構(gòu)材料。有些部位可使用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、祖、鋁、欽等。絕緣材料常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物由于可能分解出碳?xì)浠衔镂廴鞠到y(tǒng)，不能使用。飽和蒸氣壓較高的材料，如鋅及其合金也不能使用。

超高真空系統(tǒng)中材料的出氣是限制真空度上升的重要因素。一方面采用清洗、拋光、把零部件放在真空柜中保存或真空預(yù)熱除氣等方法降低出氣速率，以改善材料的原始處理情況。另一方面還可以采用真空系統(tǒng)高溫烘烤除氣的辦法，加速材料的出氣過程，材料表面吸附和吸收的氣體分子加速放出并被排出，冷卻后材料的出氣速率會降低幾個數(shù)量級。因此，對于一般需要達(dá)到10-7Pa以下壓力的真空系統(tǒng)，都必須烘烤除氣。

⑤真空設(shè)備一般應(yīng)在溫度為15℃-30℃，相對濕度不高于70%的清潔的空氣流通的環(huán)境中工作，冷卻水進水溫度不高于250℃。

真空設(shè)備所在的實驗室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵工作時排出的氣體對實驗室環(huán)境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法，將氣體排出室外。

上海帕特泵業(yè)制造有限公司

2012年4月26日星期四

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