決定真空系統(tǒng)性能的因素

2012-05-15

決定真空系統(tǒng)性能的因素

一、工作真空度

正確地了解與確定一個設備所要求的真空度是很重要的，它接接影響到真空系統(tǒng)的結鉤選擇和對設備維修的要求。真空系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠的氣密性，內部又沒有經常放出氣體或蒸氣的氣源，則這一要求是可以滿足的。當然也并不是真空度愈高愈好。否則會使設備外形過分臃腫，成本增加。

二、殘余氣休成分

某些真空作業(yè)，不但要求一定的真空度，而且還要求特定的殘余氣體成分，如超高真空范圍作業(yè)，常要求無碳氫化合物污染，即系統(tǒng)要潔凈無油才好。但也不應盡搞“全無油”，要從經濟方面考慮。往往用現(xiàn)有系統(tǒng)加以改造，就可以又快又省地滿足作業(yè)的要求了。

三、工作壓強下的有效抽速

這要根據(jù)氣體負荷確定。系統(tǒng)的結構、材料選擇、清潔處理和操作維護等都會大大影響氣體負荷。第一章已介紹了一些決定導管通導能力和對容器有效抽速的核算方法。假定系統(tǒng)通導能力符合要求，那么要注意作業(yè)工、卡具和材料的預除氣，以及嚴格的清潔處理，要盡可能降低氣體負荷。并據(jù)此決定前、級泵人小，仔細核算通導能力。若氣體負荷過大，則要考慮是否加增壓泵。有效抽速與泵抽速之比要根據(jù)泵的結構綜合考慮，一般機械泵在95%，擴散泵在30%-70%。

四、氣體負荷成分及負荷變化

負荷成分不同，系統(tǒng)結構選擇和泵的選擇肯定不同。粗低真空范圍內，若含有腐蝕性的氣體，有顆粒、泥沙、塵埃的氣體就不宜用機械泵和羅茨泵，應該用水環(huán)泵和噴射泵。用分子泵抽氣考慮到氧氣存在，應當并聯(lián)欽升華泵，這樣才能使真空度提高，并達到超高真空范圍。

五、日循環(huán)數(shù)

每日進行裝料-抽氣-作業(yè)-放氣-卸料的循環(huán)次數(shù)，叫日循環(huán)數(shù)。這也是設計、改造系統(tǒng)結構，選擇、核算抽速所必須考慮的因素。必要時，泵用多室的結構為好。例如圓排車上就常用十室泵作前級泵。

上海帕特泵業(yè)制造有限公司

2012年05月15日星期二

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