高真空抽氣機組
2012-05-24
高真空抽氣機組
高真空機組工作于分子流狀態(tài)下，與低真空機組相比，其特點是工作壓力較低(10-2~10-6pa)、排氣小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵等.這些泵不能直接對大氣工作，因此需要配置預抽泵和前級泵、有些擴散泵高真空抽氣機組還配有前級維持泵或貯氣雄，以防止氣壓波動，改善機組性能。
(1)預抽泵。預抽泵(粗抽泵)主要用來抽除真空室中的大量氣體，使真空室內的氣體壓力由大氣壓力降到主泵能夠啟動工作時的真空度，因此，要求預抽泵所達到的壓力小于主泵的啟動工作壓力，機組所選用預抽泵的抽速大小由粗抽時間決定.為了提高真空機組的利用率，預抽泵可以兼做前級泵用。兩種不同抽氣功能之間靠真空閥門來分隔和切換。
(2)維持泵。由于擴散泵和油增壓泵啟動時間長，在周期性操作的真空設備中，當真空室裝料和卸料的時候，往往為了縮短工作周期而不停止主泵，將高真空閥門和前級管道閥門關閉，使主泵仍處于工作狀態(tài)。由于閥門等總是有極少量的漏氣和表面放氣，經過一定時間主泵泵腔內的壓強增加，超過泵工作掖的允許壓強而使泵油蒸氣氧化。為了解決這個問題，一個辦法是用前級泵繼續(xù)抽出主泵中的氣體，但此時主泵內排出的氣體量很小，出現(xiàn)前級泵大馬拉小車，浪費能源。為此可采用另一個辦法，停止前級泵工作，關閉前級管道閥門，在主泵出口處設置維持泵或儲氣鑲，這樣就可以保證既能排出主泵內的氣體.又可以節(jié)省能源消耗。儲氣罐不能做得別很大，它只能用在以擴散泵為主泵的小型真空機組上.而維持泵可用在配置大型主泵的真空機組中。
(3)貯氣罐。小型擴散泵高真空抽氣機組通常配置有貯氣罐，設置在擴散泵和前級泵之間，貯存擴散泵排出的氣體，設置貯氣罐的原因有:
1)系統(tǒng)防振的需要。真空系統(tǒng)工作時，某些工藝過程要求嚴格防振，因此需要在真空室處在工作狀態(tài)時，要使前級機械泵在一段時間內停止工作.在這段時間內，擴散泵排出的氣體全都貯存在貯氣罐中，用貯氣峨代替機械泵維持擴散泵正常工作。
2)為了縮短工作周期。有些生產工藝要求在不關閉擴散泵加熱器的情況下，真空室放進大氣換取工件、裝料.而真空機組的前級泵兼做預抽泵用.裝料后，用機械泵頂抽真空室，在這段時間內利用貯氣罐來維持擴散泵工作(作為前級泵用)。
3)為防止真空室內瞬時大量放氣影響擴散泵正常工作。真空工藝生產中的某段時間內放氣量特別大，但時間短。若按此時的排氣量配前級機械泵很不經濟，此時可在系統(tǒng)中配置前級貯氣雄，在放氣量時貯存一部分氣體，以避免擴散泵的前級壓力超過反壓力。
4)用于穩(wěn)定擴散泵出口壓力。由于機械泵排氣是脈動的，雖然頻率不高，但是也會引起擴散泵出口壓力的波動，設置貯氣罐可減少這種波動。
上海帕特泵業(yè)制造有限公司
2012年05月24日 星期四
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