抽除危險(xiǎn)氣體的羅茨泵（一）

2012-05-17

抽除危險(xiǎn)氣體的羅茨泵（一）

標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵的特性有一定的局限性，尤其是在粗真空范圍內(nèi):

(1)在氣壓下進(jìn)行抽氣時(shí)壓縮比低單級(jí)泵的壓縮比在壓力低于1mbar時(shí)其值近于70:1;當(dāng)在大氣壓下壓縮時(shí)其值降低到近于5:1。

(2)過熱當(dāng)對(duì)空氣的壓縮比高于2時(shí)泵將發(fā)熱，因此根據(jù)泵的入口壓力，一些羅茨泵不得不串聯(lián)使用，以便使壓力范圍加大。

2.氣冷羅茨真空泵:因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)羅茨真空泵只有在壓縮比低于2的情況下才不過熱，所以研制了氣體循環(huán)冷卻的羅茨真空泵，以使其在沒有過熱的債況下，有盡可能高的壓縮比。在這種泵中，一部分氣體通過氣體冷卻器，然后經(jīng)由特制的側(cè)口進(jìn)入工作腔。由于氣體的進(jìn)入，所以這種泵的極限壓力可達(dá)200mbar<單級(jí)泵)或20mbar(串聯(lián)雙級(jí)泵)。為了獲得低于1Ombar的壓力，一些泵必須串聯(lián)使用。

3.多級(jí)羅茨真空泵:為了避免一些昂費(fèi)的羅茨真空泵串聯(lián)，研制了一種新的三級(jí)羅茨真空泵，，這種泵能在壓力低于l0mbar到1個(gè)大氣壓范圍內(nèi)工作。

（1）結(jié)構(gòu) 在齒輪箱中，由潤(rùn)滑所造成的被抽氣體的污染低于3ppm，這取決于工作壓力和潤(rùn)滑油的性質(zhì)。通過增添一些輔助零件，可便污染值降到0.1ppm以下，這些輔助零件可互換到任何羅茨真空泵上，以便把中間中的氣體封住，可用沸石捕集或別的吸附材料抽空中間室。

上海帕特泵業(yè)制造有限公司

2012年05月17日星期四

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