羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測試
2012-05-17
1.極限真空的測試:測試極限真空，是泵在不連接容器的情況下，按規(guī)定的條件運(yùn)轉(zhuǎn)，待泵的溫升達(dá)到穩(wěn)定時(shí)，從泵的進(jìn)口附近以真空計(jì)測出其穩(wěn)定的低壓強(qiáng)。
測量極限真空采用的真空計(jì)，對于羅茨真空泵，按規(guī)定采用座式壓縮式真空計(jì)，且應(yīng)準(zhǔn)確讀出一位有效數(shù)字來表示。這種真空計(jì)必須經(jīng)具有±10%以上精度的壓縮式真空計(jì)校準(zhǔn)。對于作為粗真空使用的直排大氣的羅茨真空泵，可采用管徑相等的開口或閉口U型水銀真空計(jì)，也可采用精度為±1mm單管水銀壓力表，不管使用哪種真空計(jì)，都應(yīng)盡量靠近泵的吸氣口測量，連接用的真空橡膠管應(yīng)盡可能短，以盡量減少誤差。
2.抽氣速率的測試:羅茨真空泵的抽氣速率測試，因其用途不同而采用不同的測試方法和儀器。按照部標(biāo)規(guī)定，氣體流量小于5OTorr·L/s時(shí)，應(yīng)采用低飽和蒸氣壓液體滴定管流址計(jì)，氣體流量大于50Torr·L/s時(shí)，應(yīng)采用浮子流量計(jì)。
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